ÑÒÅÊËÎ ÏÐÅÈÌÓÙÅÑÒÂÅÍÍÎ ÄËß ÈÇÎËßÖÈÈ ÀËÞÌÈÍÈÅÂÎÉ ÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÎÉ ÐÀÇÂÎÄÊÈ
(51) 6 C03C8/24, C03C3/072
(12) ÎÏÈÑÀÍÈÅ ÈÇÎÁÐÅÒÅÍÈß Ê ÏÀÒÅÍÒÓ ÐÎÑÑÈÉÑÊÎÉ ÔÅÄÅÐÀÖÈÈ
Ñòàòóñ: ïî äàííûì íà 07.02.2008 - ïðåêðàòèë äåéñòâèå
--------------------------------------------------------------------------------
(21) Çàÿâêà: 5058478/33
(22) Äàòà ïîäà÷è çàÿâêè: 1992.08.11
(45) Îïóáëèêîâàíî: 1995.06.09
(56) Ñïèñîê äîêóìåíòîâ, öèòèðîâàííûõ â îò÷åòå î ïîèñêå: Àâòîðñêîå ñâèäåòåëüñòâî ÑÑÑÐ N 349652, êë. C 03C 3/074, 1971.
(71) Çàÿâèòåëü(è): Ìîñêîâñêèé èíñòèòóò ýëåêòðîííîé òåõíèêè
(72) Àâòîð(û): Åðìîëàåâà À.È.; Êîøåëåâ Í.È.; Èâëþøêèí À.Í.
(73) Ïàòåíòîîáëàäàòåëü(è): Ìîñêîâñêèé èíñòèòóò ýëåêòðîííîé òåõíèêè
(54) ÑÒÅÊËÎ ÏÐÅÈÌÓÙÅÑÒÂÅÍÍÎ ÄËß ÈÇÎËßÖÈÈ ÀËÞÌÈÍÈÅÂÎÉ ÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÎÉ ÐÀÇÂÎÄÊÈ
Èñïîëüçîâàíèå: äëÿ èçîëÿöèè àëþìèíèåâîé ïðîâîäíèêîâîé ðàçâîäêè ãàçîðàçðÿäíûõ èíäèêàòîðíûõ ïàíåëåé, à òàêæå äëÿ ìåæñëîéíîé, ìåæêîìïîíåíòíîé èçîëÿöèè, ïëàíàðèçàöèè, áåñêîðïóñíîé çàùèòû èíòåãðàëüíûõ ñõåì, ñïàèâàíèÿ êðåìíèåâûõ ñòðóêòóð ïðè èçãîòîâëåíèè ìèêðîñáîðîê è ñåíñîðîâ è â äðóãèõ îáëàñòÿõ ýëåêòðîííîé òåõíèêè. Ñóùíîñòü èçîáðåòåíèÿ: ñòåêëî, ïðåèìóùåñòâåííî äëÿ èçîëÿöèè àëþìèíèåâîé ïðîâîäíèêîâîé ðàçâîäêè, ñîäåðæèò, ìàñ.%: îêñèä ñâèíöà 65 - 75 ÁÔ PbO; îêñèä áîðà 8 - 17 ÂÔ B2O3; îêñèä êðåìíèÿ 8 - 16 ÁÔ SiO2; îêñèä àëþìèíèÿ 0,1 - 4 ÁÔ Al2O3; îêñèä öèíêà 0,5 - 8 ÁÔ ZnO; îêñèä êàäìèÿ 0,5 - 7 ÁÔ CdO; îêñèä ñóðüìû 0,1 - 2 ÁÔ Sb2O5 , ïðè÷åì ñóììà ZnO è CdO ðàâíà 5 - 10 ìàñ. % . Ñâîéñòâà ñòåêëà: ÊÒËÐ (80-85)10-7K-1 òåìïåðàòóðà íà÷àëà äåôîðìàöèè 425 - 440°Ñ, óäåëüíîå îáúåìíîå ñîïðîòèâëåíèå ïðè 20>1012Îìñì òåìïåðàòóðà îïëàâëåíèÿ ïîðîøêîâûõ ñëîåâ 570 - 590°Ñ, ñòåêëî ïðîçðà÷íîå, óäåëüíîå ïîâåðõíîñòíîå ñîïðîòèâëåíèå àëþìèíèåâîé ìåòàëëèçàöèè 0,013 - 0,015 Îì/î. 2 òàáë.
ÎÏÈÑÀÍÈÅ ÈÇÎÁÐÅÒÅÍÈß
Èçîáðåòåíèå îòíîñèòñÿ ê ñîñòàâàì íåêðèñòàëëèçóþùèõñÿ ëåãêîïëàâêèõ ñòåêîë, ïðåäíàçíà÷åííûõ äëÿ èçîëÿöèè àëþìèíèåâîé ïðîâîäíèêîâîé ðàçâîäêè ãàçîðàçðÿäíûõ èíäèêàòîðíûõ ïàíåëåé, à òàêæå ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàíî äëÿ ìåæñëîéíîé, ìåæêîìïîíåíòíîé èçîëÿöèè, ïëàíàðèçàöèè, áåñêîðïóñíîé çàùèòû èíòåãðàëüíûõ ñõåì, ñïàèâàíèÿ êðåìíèåâûõ ñòðóêòóð ïðè èçãîòîâëåíèè ìèêðîñáîðîê è ñåíñîðîâ è â äðóãèõ îáëàñòÿõ ýëåêòðîííîé òåõíèêè.
Èçâåñòíî ñòåêëî, èñïîëüçóåìîå äëÿ çàùèòû ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ, ñîäåðæàùåå, ìàñ. PbO 65-75; SiO2 8-12; B2O3 7-8; CuO 0,5-3; Al2O3 äî 0,5; ZnO 5-15; CdO 0,5-15.
Èçâåñòíîå ñòåêëî èìååò òåìïåðàòóðó îïëàâëåíèÿ 420-430î Ñ, óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå (v) ïðè 200î Ñ 1212 Îì ñì, êîýôôèöèåíò òåðìè÷åñêîãî ëèíåéíîãî ðàñøèðåíèÿ (ÊÒËÐ) 85 10-7 1/ãðàä.
Íåäîñòàòêàìè äàííîãî ñòåêëà ÿâëÿþòñÿ íèçêàÿ îïòè÷åñêàÿ ïðîçðà÷íîñòü, ñêëîííîñòü ê êðèñòàëëèçàöèè ïðè ôîðìèðîâàíèè äèýëåêòðè÷åñêèõ ñëîåâ íà îñíîâå ñòåêëîâèäíûõ ïîðîøêîâ ñ ïîñëåäóþùèì îïëàâëåíèåì è íåñîãëàñîâàííîñòü ïî ÊÒËÐ ñî ñòåêëîïëàñòèíîé, èñïîëüçóåìîé ïðè èçãîòîâëåíèè ãàçîðàçðÿäíûõ èíäèêàòîðíûõ ïàíåëåé.
Äîñòèãàåìûì òåõíè÷åñêèì ðåçóëüòàòîì ÿâëÿåòñÿ óìåíüøåíèå âçàèìîäåéñòâèÿ ñòåêëà ñ àëþìèíèåâîé ìåòàëëèçàöèåé è ñíèæåíèå óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïðîâîäíèêîâ.
Óêàçàííûé òåõíè÷åñêèé ðåçóëüòàò äîñòèãàåòñÿ òåì, ÷òî ñòåêëî, ïðåèìóùåñòâåííî äëÿ èçîëÿöèè àëþìèíèåâîé ïðîâîäíèêîâîé ðàçâîäêè, ñîäåðæèò ñëåäóþùèå êîìïîíåíòû, ìàñ. PbO 65-75; B2O3 8-17; SiO2 8-16; Al2O3 0,1-4; ZnO 0,5-8; CdO 0,5-7; Sb2O5 0,1-2; ïðè÷åì ñóììà ZnO è CdO ðàâíà 5-10 ìàñ.
Èçîáðåòåíèå ïîÿñíÿåòñÿ êîíêðåòíûìè ñîñòàâàìè ñòåêîë, ïðèâåäåííûìè â òàáë.1.
Ñòåêëî ñèíòåçèðîâàëè èç îêñèäîâ â êîðóíäèçîâûõ òèãëÿõ â ýëåêòðîïå÷àõ ñ ñèëèòîâûìè íàãðåâàòåëÿìè ïðè 1000îÑ ñ âûäåðæêîé 1 ÷. Âûðàáîòêó ñòåêëà ïðîâîäèëè â âèäå ãðàíóëÿòà ïóòåì îòëèâêè ðàñïëàâà ñòåêëîìàññû â äèñòèëëèðîâàííóþ âîäó. Äëÿ èçìåðåíèÿ ÊÒËÐ è tí.ä ñòåêîë îòëèâàëè îáðàçöû â âèäå øòàáèêîâ (50õ50õ5 ìì3). Ãðàíóëÿò ñòåêëà èçìåëü÷àëè â àãàòîâîì áàðàáàíå íà ïëàíåòàðíîé ìåëüíèöå äî ïîëó÷åíèÿ ïîðîøêà ñ óäåëüíîé ïîâåðõíîñòüþ 5000 ñì2/ã.
Íà îñíîâå èçìåëü÷åííîãî ïîðîøêà ñòåêëà ãîòîâèëè äèýëåêòðè÷åñêóþ ïàñòó ñ èñïîëüçîâàíèåì â êà÷åñòâå îðãàíè÷åñêîãî ñâÿçóþùåãî 3%-íîãî ðàñòâîðà ýòèëöåëëþëîçû â òåðïåíèîëå. Äèýëåêòðè÷åñêóþ ïàñòó íàíîñèëè ìåòîäîì òðàôàðåòíîé ïå÷àòè íà ñòåêëîïëàñòèíó ïîâåðõ ïðåäâàðèòåëüíî îòôîðìèðîâàííîé àëþìèíèåâîé ïðîâîäíèêîâîé ðàçâîäêè. Ïîñëå ïîäñóøêè íà âîçäóõå ïðè 120î Ñ â òå÷åíèå 15 ìèí îñóùåñòâëÿëè îïëàâëåíèå äèýëåêòðè÷åñêîãî ñëîÿ â âîçäóøíîé àòìîñôåðå â êîíâåéåðíîé ïå÷è ñ âûäåðæêîé 2,5 ÷ ïðè ìàêñèìàëüíîé òåìïåðàòóðå.
Ñâîéñòâà îïèñûâàåìûõ ñîñòàâîâ ïðèâåäåíû â òàáë.2.
Ïðèìåíåíèå ñòåêîë îïèñûâàåìûõ ñîñòàâîâ ïîçâîëÿåò ðåçêî óìåíüøèòü âçàèìîäåéñòâèå ñòåêëîâèäíîãî äèýëåêòðèêà â ïðîöåññå åãî âæèãàíèÿ ñ àëþìèíèåâîé ïðîâîäíèêîâîé ðàçâîäêîé è ñíèçèòü óäåëüíîå ïîâåðõíîñòíîå ñîïðîòèâëåíèå àëþìèíèåâîé ìåòàëëèçàöèè ïî ñðàâíåíèþ ñ ïðîòîòèïîì.
ÔÎÐÌÓËÀ ÈÇÎÁÐÅÒÅÍÈß
ÑÒÅÊËÎ ÏÐÅÈÌÓÙÅÑÒÂÅÍÍÎ ÄËß ÈÇÎËßÖÈÈ ÀËÞÌÈÍÈÅÂÎÉ ÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÎÉ ÐÀÇÂÎÄÊÈ, âêëþ÷àþùåå PbO, B2O3, SiO2, ZnO, CdO, Al2O3, îòëè÷àþùååñÿ òåì, ÷òî îíî äîïîëíèòåëüíî ñîäåðæèò Sb2O5 ïðè ñëåäóþùåì ñîîòíîøåíèè êîìïîíåíòîâ, ìàñ.
PbO 65 75
B2O3 8 17
SiO2 8 16
ZnO 0,5 8,0
CdO 0,5 7,0
Al2O3 0,1 4,0
Sb2O5 0,1 2,0
ïðè÷åì ZnO + CdO 5 10 ìàñ
Íåçàâèñèìûé íàó÷íî òåõíè÷åñêèé ïîðòàë
Íà ãëàâíóþ ñòðàíèöó ðàçäåëà